【产品概述】
真空等离子上位机监控系统是上海赢式信息科技有限公司专为真空等离子清洗机、等离子刻蚀机、等离子去胶机等半导体工艺设备量身定制开发的工业级集中监控软件。系统实现对单台或整线等离子工艺设备的运行状态实时监控、关键工艺参数采集、真空度与射频功率实时曲线显示、异常报警推送、生产数据追溯与报表自动生成，帮助半导体、医疗器械、精密光学、新能源电池等制造企业提升等离子工艺设备的管控效率与工艺稳定性。
【核心功能模块】
1. 设备状态实时监控：动态显示等离子设备的运行状态、工艺步骤进度、真空腔室真空度、射频功率、工艺温度、气体流量、电极电压电流等核心参数，支持多设备同屏监控
2. 工业协议兼容接入：支持Modbus RTU/TCP、OPC UA、西门子S7-200/300/1200/1500全系列、三菱FX/Q系列、欧姆龙Fins、EtherNet/IP等全品类主流工业通信协议，具备老旧非标等离子设备私有协议逆向解析能力，无需更换原有硬件即可完成设备联网
3. 实时曲线与数据存储：毫秒级高频采集工艺参数，支持实时曲线硬件加速渲染，配套本地SQLite/MySQL离线缓存、断点续传、断线自动重连机制，在车间强电磁干扰工况下数据采集成功率稳定达99.99%
4. 智能报警与事件管理：多级报警阈值配置，支持声光报警、弹窗提示、声音提醒等多渠道推送方式，报警记录自动存档，支持按时间、设备类型、报警等级多维度查询与导出
5. 历史追溯与报表生成：自动生成生产日报、设备运行时长报表、报警统计报表、工艺参数趋势分析报告，支持Excel/PDF格式导出，满足客户质量追溯与工艺分析需求
6. 车间电子看板：大屏可视化展示各台等离子设备运行状态、当日产量、设备OEE、工艺参数趋势等核心KPI指标，支持壁挂式电子看板部署
7. 系统集成对接：提供标准化RESTful API接口，支持与MES、ERP、EAP、WMS等企业管理系统原生直连，实现生产数据全链路互通
【技术特点】
- 全栈原生C#/Qt开发，完全不依赖第三方组态平台，从底层代码层面保障系统工业级稳定性
- 支持Windows 7/10/11、Linux跨平台部署，支持单机版与C/S网络版架构
- 72小时满负载压力测试，保障系统7*24小时不间断稳定运行
- 所有项目交付无加密完整源码，知识产权完全归属客户
【应用行业】
广泛应用于半导体前道工艺、后道封装、医疗器械等离子/活化、精密光学清洗、新能源电池表面处理、汽车零部件表面处理、微电子封装等领域。
【公司简介】
上海赢式信息科技有限公司是国内深耕工业数字化领域十余年的上位机定制开发服务商，核心聚焦工控上位机与工业自动化赛道。核心工程师均拥有十年以上工业现场项目经验，精通C# WinForm/WPF、Qt/C++、Python、Vue3前后端分离等全系列主流工业级开发架构。以上海为总部，在苏州、无锡、杭州、广州设立研发交付中心，累计落地超1200项各行业上位机定制项目，长三角区域48小时可上门勘测调试。