在整个集成电子无尘车间中，电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进，芯片尺寸越小。然而，电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%～2%，在电子无尘车间中会成为废品，因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
为达到洁净水平，无尘车间的设置需要采取综合措施，包括工艺布置、建筑平面、建筑结构、空气净化措施、维护管理等，其中空气净化措施是达到洁净水平的根本保证。
在工作中，工作人员应当尽量避免或者减少接触设备的产品的次数，如果可以，还是采取全自动的生产流程。如果一定要接触的话，应该先洗干净手，并且戴上手套，防止对设备和产品造成污染。
水磨石无尘车间地面，施工质量会失控。金属隔珊通风地面，用于垂直单项流无尘车间作为回风隔栅使用，一般采用多孔板。粘贴性无尘车间地面，有聚氯乙烯软板，聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式，具有一定的弹性，耐磨不起尘，易清洗，耐腐蚀，防静电，但整体性差，接缝和粘贴施工质量失控后，影响使用效果，适用于电子、精密制造的一般无尘车间。