洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒服感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,而气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,人体和衣服的摩擦,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。
洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足必要的谈话联系及良好的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是:
1.烦恼的效应由于噪声,使人感到不安宁而产生烦恼情绪,一般分为安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹,比较吵闹和吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和吵闹者,即为高烦恼,高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率,层流罩。
2.对工作效率的影响这主要看三方面的反应水平,这三个方面是:集中精神动作准确性工作速度
3.对综合通讯的干扰。
无尘室在绝大多数情况下,运行中风速越低,过滤器的使用效果越好。主要是因为小粒径粉的扩散作用明显,风速低了,气流在过滤材料中滞留的时间就长一些,粉尘就有更多的机会撞击障碍物,因此过滤效率就高,经验表明,对于过滤器,风速减少一半,粉尘的透过率会降低近一个数量级,风速增加一倍,透过率会增加一个数量级。